美國(guó)FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來(lái)為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測(cè)量設(shè)備。
美國(guó)FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測(cè)量?jī)x特殊功能優(yōu)點(diǎn)：
1、*封閉的設(shè)計(jì)，溫度更穩(wěn)定。
2、特殊的設(shè)計(jì)使震動(dòng)偏移降到較低。
3、圖形式使用界面更容易使用。
4、當(dāng)改變彈性模數(shù)，晶圓或薄膜厚度設(shè)備會(huì)自動(dòng)重新計(jì)算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。
5、可以計(jì)算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。
6、可以計(jì)算應(yīng)力的均勻性。
7、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel ，提供給SPC 分析。
8、多重導(dǎo)向銷(xiāo)設(shè)計(jì)，手動(dòng)裝載樣品，有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。
9、優(yōu)異的分辨率測(cè)量0.2um弓形高度變化超過(guò) 20M 的平鏡（大約 0.8%）
10、FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測(cè)量?jī)x全3D測(cè)繪的手動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。
11、測(cè)量局部應(yīng)力測(cè)量42 點(diǎn)/mm 并大于8400 點(diǎn)/200mm晶圓。這種測(cè)量密度獲得更好的信號(hào)噪聲比。
