橢圓偏振儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量設(shè)備。由于并不與樣品接觸，對(duì)樣品沒(méi)有破壞且不需要真空。可測(cè)的材料包括：半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、有機(jī)物、金屬、多層膜物質(zhì)。可以應(yīng)用于半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域。
主要功能：
測(cè)量樣品的偏振參量信息等，可用于在線監(jiān)測(cè)，也可用于離線的樣品測(cè)試；可使用不同大小的光斑探測(cè)樣品。
橢圓偏振儀的調(diào)整要點(diǎn)主要步驟：
1、調(diào)整分光計(jì)；
2、調(diào)共軸（注意：用校光片，先不放檢偏器調(diào)，可以用白紙防在望遠(yuǎn)鏡的目鏡處看光點(diǎn)是否在中央;然后放上檢偏器再調(diào)，注意令水平盤的О對(duì)準(zhǔn)游標(biāo)的0）；
3、定檢偏器的位置（望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)66°，加黑色反光板，檢偏器90°向上，使探測(cè)器光強(qiáng)達(dá)到小，整體轉(zhuǎn)檢偏器合適后固定）；
4、定起偏器的位置（望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)回到與平行光管對(duì)正，起偏器О°向上，空載物臺(tái)，整體轉(zhuǎn)起偏器達(dá)到光強(qiáng)小后固定）；
5、安裝1/4波片，定1/4波片的0位（只轉(zhuǎn)波片，不要轉(zhuǎn)手動(dòng)輪，使光強(qiáng)達(dá)到小）；
6、望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)40°，放樣品；
7、將1/4波片的手動(dòng)輪轉(zhuǎn)+45°和-45°，輪流轉(zhuǎn)檢偏器和起偏器達(dá)到光強(qiáng)讀數(shù)小，開(kāi)始讀取分光計(jì)的讀數(shù)。
注意事項(xiàng)：
1、個(gè)實(shí)驗(yàn)過(guò)程中不得旋動(dòng)平行光管，以保證入射面不改變，否則會(huì)改變S，Р坐標(biāo)軸的方位而使起偏器零點(diǎn)的位置發(fā)生改變。
2、整個(gè)實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，特別是轉(zhuǎn)動(dòng)望遠(yuǎn)鏡時(shí)，不得調(diào)節(jié)望遠(yuǎn)鏡鏡筒的高低。
