橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量設(shè)備。由于并不與樣品接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種具吸引力的測量設(shè)備。
基本原理：
橢圓偏光法涉及橢圓偏振光在材料表面的反射。為表征反射光的特性，可分成兩個分量：P和S偏振態(tài)，P分量是指平行于入射面的線性偏振光，S分量是指垂直于入射面的線性偏振光。菲涅耳反射系數(shù)r描述了在一個界面入射光線的反射。P和S偏振態(tài)分量各自的菲涅耳反射系數(shù)r是各自的反射波振幅與入射波振幅的比值。大多情況下會有多個界面，回到最初入射媒介的光經(jīng)過了多次反射和透射。總的反射系數(shù)Rp和Rs，由每個界面的菲涅耳反射系數(shù)決定。Rp和Rs定義為最終的反射波振幅與入射波振幅的比值。
設(shè)計領(lǐng)域：
橢圓偏振儀涉及領(lǐng)域有：半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等。
早期的研究主要集中于偏振光及偏振光與材料相互作用的物理學(xué)研究以及儀器的光學(xué)研究。計算機的發(fā)展使橢偏儀在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用。硬件的自動化和軟件的成熟大大提高了運算的速度，成熟的軟件提供了解決問題的新方法，因此，橢偏儀已被廣泛應(yīng)用于研究、開發(fā)和制造過程中。
橢圓偏振儀所需的組件包括：
1、把非偏振光轉(zhuǎn)化為線性偏振光的光學(xué)系統(tǒng)；
2、把線性偏振光轉(zhuǎn)化為橢圓偏振光的光學(xué)系統(tǒng)；
3、樣品反射；
4、測量反射光偏振特性的光學(xué)系統(tǒng)；
5、測量光強度的探測器；
6、根據(jù)假設(shè)模型計算結(jié)果的計算機。
