膜厚儀又叫膜厚測試儀，可應用于在線膜厚測量，測氧化物，SiNx，感光保護膜和半導體膜。也可以用來測量鍍在鋼，鋁，銅，陶瓷和塑料等上的粗糙膜層。薄膜表面或界面的反射光會與從基底的反射光相干涉，干涉的發生與膜厚及折光系數等有關，因此可通過計算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無損，精確且快速的光學薄膜厚度測量技術，薄膜測量系統采用光干涉原理測量薄膜厚度。
膜厚儀符合了(GB/T 4957-2003)中的渦流法以及(GB/T 4956-2003)中的磁性法等相關標準。一般根據原理不同可分為3種類型，具體分析如下：
1、渦流測厚的原理，是利用高頻交變電流在線圈中產生的電磁場，當測頭和覆蓋層接觸時，金屬基體上就會產生電渦流。并且會對測頭中的線圈產生了反饋的作用，然后通過測量反饋作用的大小來導出覆蓋層的厚度。適用于非磁性金屬基體上(銅、鋁、黃銅等)非導電涂層的測量(如涂料、陽極氧化層等)。如航天航空器表面、車輛等及其它鋁制品表面的油漆，陽極氧化膜等。
2、磁性測厚的原理，是當測頭和覆蓋層接觸時，測頭和磁性金屬基體構成的一閉合磁路，由于非磁性覆蓋層的存在，會使磁路磁阻發生變化，根據變化就可以測出涂層的厚度。
3、熒光X射線型是通過X射線所散發出來的粒子，吸收能量之后變成穩定狀態來測量厚度的，這種是科技發展的最新產物，通常被多種行業領域所使用。
不管是選擇膜厚儀還是選擇合適的儀器，這些都需要在選擇和使用之前掌握相關的知識，比如在選購的時候，要注意了解行情，注意行業發展情況，選擇儀器的時候需要明白設備的哪些參數，在使用的時候需要掌握相應的使用方法和維護方法等。
