光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
產(chǎn)品特點：
光學(xué)輪廓儀對各種產(chǎn)品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
應(yīng)用：
傳統(tǒng)的機(jī)械零件由于受加工設(shè)備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級。但隨著技術(shù)發(fā)展，人們對機(jī)械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進(jìn)，設(shè)備加工精度的提高帶動檢測技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機(jī)械零件有很大的局限性。
光學(xué)輪廓儀最初應(yīng)用在光學(xué)加工行業(yè)時，其3D、高速、精密、可靠和穩(wěn)定，開始引起加工人士的注意并開始應(yīng)用。光學(xué)輪廓儀已在汽車發(fā)動機(jī)噴油嘴、半導(dǎo)體切割刀具、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標(biāo)定等方面有大量的應(yīng)用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機(jī)械加工檢測中呈現(xiàn)出新的應(yīng)用。
光學(xué)輪廓儀讓光學(xué)輪廓測量價格更為實惠，使用了目前先進(jìn)的垂直掃描干涉 (VSI) 結(jié)合高精確度相移干涉 (PSI) 測量，以前所未見的價格使得表面形貌研究進(jìn)入次納米等級。
