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      ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng)

      簡要描述:ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng) 應(yīng)用:高真空晶圓鍵合平臺促進(jìn)“任何物上的任何東西"的共價鍵合

      • 產(chǎn)品型號:
      • 廠商性質(zhì):代理商
      • 產(chǎn)品資料:
      • 更新時間:2024-11-09
      • 訪  問  量: 3595

      詳細(xì)介紹

       ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng)應(yīng)用:高真空晶圓鍵合平臺促進(jìn)“任何物上的任何東西”的共價鍵合

      一、簡介
      EVG ComBond高真空晶圓鍵合平臺(晶圓鍵合機(jī))標(biāo)志著EVG*的晶圓鍵合設(shè)備和技術(shù)產(chǎn)品組合中的一個新里程碑,可滿足市場對更復(fù)雜的集成工藝的需求。

      EVG ComBond支持的應(yīng)用領(lǐng)域包括先進(jìn)的工程襯底,堆疊的太陽能電池和功率器件到端MEMS封裝,高性能邏輯和“beyond CMOS”器件。EVG ComBond系統(tǒng)的模塊化集群設(shè)計(jì)提供了高度靈活的平臺,可以針對研發(fā)和高通量,大批量制造環(huán)境中的各種苛刻的客戶需求量身定制。

      EVG ComBond(晶圓鍵合機(jī))促進(jìn)了具有不同晶格常數(shù)和熱膨脹系數(shù)(CTE)的異質(zhì)材料的鍵合,并通過其*的氧化物去除工藝促進(jìn)了導(dǎo)電鍵界面的形成。EVG ComBond(晶圓鍵合機(jī))高真空技術(shù)還可以實(shí)現(xiàn)鋁等金屬的低溫鍵合,這些金屬在周圍環(huán)境中會迅速重新氧化。對于所有材料組合,都可以實(shí)現(xiàn)無空隙和無顆粒的鍵合界面以及出色的鍵合強(qiáng)度。

      ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng)特征
      高真空,對準(zhǔn),共價鍵合
      在高真空環(huán)境(<5·10 -8 mbar)中進(jìn)行處理
      原位亞微米面對面對準(zhǔn)精度
      高真空MEMS和光學(xué)器件封裝原位表面和原生氧化物去除
      優(yōu)異的表面性能
      導(dǎo)電鍵合
      室溫過程
      多種材料組合,包括金屬(鋁)
      無應(yīng)力鍵合界面
      高鍵合強(qiáng)度
      用于HVM和R&D的模塊化系統(tǒng) 
      多達(dá)六個模塊的靈活配置
      基板尺寸大為200毫米
      *自動化

      三、技術(shù)數(shù)據(jù)
      真空度
             處理:<7E-8 mbar
             處理:<5E-8毫巴

      集群配置
             處理模塊:小3個,大6個
             加載:手動,卡帶,EFEM

      可選的過程模塊:
             (晶圓鍵合機(jī))鍵合模塊
               ComBond 激活模塊(CAM)
             (晶圓鍵合機(jī))烘烤模塊
               真空對準(zhǔn)模塊(VAM)

      晶圓直徑:高達(dá)200毫米 

       

       

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