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      EVG805-薄晶圓解鍵合系統(tǒng)

      簡要描述:EVG805-半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)) 用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。

      • 產(chǎn)品型號:
      • 廠商性質(zhì):代理商
      • 產(chǎn)品資料:
      • 更新時間:2024-11-09
      • 訪  問  量: 5053

      詳細(xì)介紹

      EVG805-半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

      應(yīng)用:薄晶圓解鍵合

      一、簡介

      EVG805是半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)),用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。可以將薄晶圓卸載到單個基板載體上,以在工具之間安全可靠地運(yùn)輸。

      EVG805-半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

      二、EVG805-解鍵合晶圓鍵合機(jī)特征

      1.開放式膠粘劑平臺

      2.解鍵合選項(xiàng):

      熱滑解鍵合

      解鍵合

      機(jī)械解鍵合

      3.程序控制系統(tǒng)

      4.實(shí)時監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過程參數(shù)

      5.薄晶圓處理的*功能

      6.多種卡盤設(shè)計(jì),可支撐大300 mm的晶圓/基板和載體

      7.高形貌的晶圓處理

      三、EVG805-解鍵合晶圓鍵合機(jī)技術(shù)數(shù)據(jù)

      晶圓直徑(基板尺寸):晶片大300 mm、高達(dá)12英寸的薄膜

      組態(tài):1個解鍵合模塊

      四、選件

      1.紫外線輔助解鍵合

      2.高形貌的晶圓處理

      3.不同基板尺寸的橋接能力


       

       

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