自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統

簡要描述：長達 150 毫米的自動化全場紫外納米壓印解決方案，采用 EVG 專有的 SmartNIL 技術

產品型號：EVG720
廠商性質：代理商
產品資料：
更新時間：2024-11-09
訪問量： 1621

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詳細介紹

EVG720 系統利用 EVG 創新的 SmartNIL 技術和材料專業知識，實現微米級和納米級結構的大規模制造。EVG720 系統采用 SmartNIL 技術，能夠在大面積上打印小至 40 nm* 的納米結構，具有較大的吞吐量和較低的擁有成本，非常適合下一代微流控和光子器件（如衍射光學元件（DOE））的批量生產。

*分辨率取決于工藝和模板

特點

· 具有復制保真度的批量驗證印記技術

· 成熟的SmartNIL技術與多用途聚合物沖壓技術®

· 集成壓印，UV固化脫模，和工作印章制作

· 自動磁帶到磁帶處理加上半自動化的研發模式

· 可選的頂部對齊

· 可選的迷你環境

· 開放平臺的所有商業可用的印記材料

· 從研發到生產的可擴展性

· 系統外殼，最佳的過程穩定性和可靠性

技術數據

晶圓直徑（襯底尺寸）：75至150毫米

分辨率：≤ 40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

過程支持：SmartNIL®

曝光源：大功率LED（i-線）> 40mW/cm2

對齊：可選頂部對中

自動分離：支持

迷你環境和氣候控制：可選

工作印章制作：支持

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