該客戶是中國(guó)碳化硅（SiC）功率器件產(chǎn)業(yè)化的chang導(dǎo)者之一，于2021年安裝了第一臺(tái)ThetaMetrisis FR-Scanner-AIO-Mic，因機(jī)臺(tái)使用狀況良好，客戶今年追加購(gòu)買了第2臺(tái)和第3臺(tái)設(shè)備（包括可見(jiàn)光和紫外光范圍）。
FR-Scanner-AIO-Mic膜厚測(cè)量?jī)x采用的是波長(zhǎng)范圍在370-1020nm的可見(jiàn)光干涉測(cè)量，能夠測(cè)量12nm-90um范圍的膜層厚度（5X鏡頭），準(zhǔn)確度高達(dá)0.2%或2nm，精度為0.02nm，是一款性價(jià)比很高的膜厚測(cè)量設(shè)備。FR-Scanner的紫外光配置，波長(zhǎng)范圍低至200nm, 能應(yīng)用于4nm-60um范圍的膜層厚度（5X鏡頭），準(zhǔn)確度高達(dá)0.1%或1nm。市場(chǎng)上大多數(shù)膜厚測(cè)量?jī)x在增加了顯微鏡配置后，設(shè)備的膜厚測(cè)量范圍出現(xiàn)大幅度縮減，但ThetaMetrisis產(chǎn)品不會(huì)出現(xiàn)這種情況，其膜厚測(cè)量范圍仍然寬廣。值得一提的是，實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)Mapping測(cè)量功能是FR-Scanner系列的標(biāo)配。
