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岱美儀器:以多元技術(shù)構(gòu)建薄膜厚度測量新范式
2025-10-11

在半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、新能源材料等精密工業(yè)領(lǐng)域,薄膜厚度的精準控制直接決定產(chǎn)品性能。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司憑借二十余年技術(shù)積淀,構(gòu)建起覆蓋機械接觸、光學(xué)干涉、光譜反射三大技術(shù)路徑的薄膜厚度測量體系,為行業(yè)提供從實驗室研發(fā)到生產(chǎn)線...

  • 2025-05-20

    在半導(dǎo)體制造與微電子加工領(lǐng)域,光刻膠作為圖形轉(zhuǎn)移的核心材料,其性能直接決定了芯片的分辨率、良率與制造成本。光刻膠測量技術(shù)通過精準評估其厚度、粘附性、對比度等關(guān)鍵參數(shù),成為工藝優(yōu)化與質(zhì)量控制的核心環(huán)節(jié)。本文將從測量精度、穩(wěn)定性與可靠性三大維度深入剖析光刻膠測量性能,并結(jié)合實際案例揭示其在行業(yè)中的戰(zhàn)略價值。一、測量性能的核心維度1.精度:納米級分辨率的基石光刻膠厚度測量需達到亞納米級精度。例如,在7nm制程中,光刻膠厚度波動超過1nm即可能導(dǎo)致線寬偏差,進而影響芯片性能。采用FR...

  • 2025-05-13

    勻膠機通過高速旋轉(zhuǎn)基底產(chǎn)生的離心力,實現(xiàn)了膠體溶液在微納結(jié)構(gòu)表面的均勻涂覆,在微陣列電極制備與生物分子功能化中展現(xiàn)出價值。在微陣列電極領(lǐng)域,勻膠機可精確控制導(dǎo)電聚合物、水凝膠等材料的成膜厚度與均勻性。例如,在制備微陣列化水凝膠電極時,勻膠機將水凝膠前驅(qū)液均勻鋪展在微陣列硅片基底上,結(jié)合真空干燥與退火處理,可顯著降低水凝膠與基底間的結(jié)合力,從而獲得規(guī)則、完整的微米級四棱柱狀或金字塔狀導(dǎo)電水凝膠陣列。這種結(jié)構(gòu)可提升電極的電化學(xué)活性表面積,增強HER(析氫反應(yīng))與OER(析氧反應(yīng))...

  • 2025-05-09

    位移傳感器作為工業(yè)自動化與精密制造的核心組件,其非接觸式高分辨率近距離測量技術(shù)正推動制造業(yè)向智能化、高精度方向演進。基于電容、激光、電磁等原理的非接觸式傳感器,通過消除機械磨損與環(huán)境干擾,實現(xiàn)了亞微米級位移測量,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、航空航天與醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域。一、技術(shù)原理與核心優(yōu)勢1.電容式位移傳感器:納米級分辨率的范例采用平行板電容器結(jié)構(gòu),當(dāng)被測物體(金屬或?qū)щ婓w)靠近時,電容值隨距離線性變化。例如MicroSense8800系列傳感器,通過優(yōu)化電極幾何結(jié)構(gòu)與信號處理算法,在...

  • 2025-05-07

    硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料,其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場景對厚度測量提出多樣化需求,催生出一系列精準高效的測量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實際應(yīng)用場景,系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測量方法。一、接觸式測量:機械與壓電技術(shù)的結(jié)合1.機械測微計法通過螺旋測微器或千分尺對硅片進行接觸式測量,操作簡單直觀。然而受限于測量點數(shù)量,僅適用于抽檢,且可能因壓力導(dǎo)致表面微損傷,適用于低精度要求的場合。2.電感測微儀利用電感線圈對距離變化的敏感性,通過接觸式測頭檢測厚度變...

  • 2025-04-29

    在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)等精密制造領(lǐng)域,硅片厚度是影響芯片性能、太陽能電池效率的核心參數(shù)之一。硅片厚度測量儀作為一種高精度檢測工具,其正確的操作方法直接關(guān)系到測量數(shù)據(jù)的可靠性。本文從基礎(chǔ)到進階,系統(tǒng)解析測量儀的操作要點,助力工程師快速掌握這一關(guān)鍵技術(shù)。一、測量前的準備工作1.清潔與環(huán)境控制①使用無塵布和酒精擦拭硅片表面,避免指紋、油漬等污染影響測量精度。②確保實驗室溫度穩(wěn)定在(23±2)℃、濕度≤60%,防止熱脹冷縮導(dǎo)致誤差。2.設(shè)備預(yù)熱與校準①開機后等待10-1...

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