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薄膜厚度測量儀光學(xué)模塊集成化的精密測量核心
2025-11-14

在半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜研發(fā)及精密涂層檢測等領(lǐng)域,薄膜厚度與光學(xué)參數(shù)的精準(zhǔn)測量是保障產(chǎn)品質(zhì)量與性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。Thetametrisis薄膜厚度測量儀(如FR-Scanner系列)憑借其高度集成的光學(xué)模塊設(shè)計,成為這一領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備——其光學(xué)...

  • 2021-11-06

    翹曲度,用于表述平面在空間中的彎曲程度,在數(shù)值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠的兩點間的距離。絕對平面的翹曲度為0。翹曲變形是評定產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。對于相同翹曲影響模式的同一產(chǎn)品時,這些指標(biāo)可以描述不同設(shè)計的翹曲變形的大小程度。但對于不同材料、模具結(jié)構(gòu)等造成翹曲變形的影響模式改變的因素,不同設(shè)計下各部分的翹曲變形嚴(yán)重程度也隨之改變。美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀具有哪些特殊功能?1、多重導(dǎo)向銷設(shè)計,手動裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。2、優(yōu)異的分辨率—...

  • 2021-10-28

    輪廓儀,是一種常用的測量工具,用于精確復(fù)制和測量不規(guī)則物體的輪廓形狀。它廣泛應(yīng)用于木工、金屬加工、裝修和模具制造等領(lǐng)域。本文將詳細介紹輪廓儀的使用方法和注意事項,以幫助讀者更好地掌握這一實用工具。一、輪廓儀的使用方法1.準(zhǔn)備工作:在使用儀器之前,確保物體表面干凈,無塵和雜質(zhì),以免影響測量結(jié)果。2.調(diào)節(jié)高度:根據(jù)待測物體的高度,通過旋鈕將基座調(diào)節(jié)到合適的高度,使針頭能夠接觸到物體表面。3.復(fù)制輪廓:將儀器平放在待測物體上,確保針頭接觸物體表面,并輕輕滑動儀器,使針頭按照物體曲線...

  • 2021-10-23

    橢偏儀通過測量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化,獲得材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息,具有測量精度高、非接觸、無破壞且不需要真空等優(yōu)點。橢偏儀的選購指南:1、根據(jù)研究或測試的材料特性來確定光譜范圍,進一步選擇適合光源的橢偏儀。對于透明材料,考慮關(guān)心的折射率光譜區(qū)域;對于短波吸收、長波透明材料,如果關(guān)心吸收區(qū)域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區(qū)域來先確定薄膜厚度,然后求解折射率。2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測量可以增加可靠性,但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場合:多層膜結(jié)構(gòu)、吸收膜...

  • 2021-10-19

    橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。基本原理:橢偏儀的原理主要依賴于光的偏振現(xiàn)象。當(dāng)光線通過某些物質(zhì)時,其偏振狀態(tài)會發(fā)生變化。橢偏儀利用這一特性,通過精確控制入射光的偏振態(tài),并測量經(jīng)過樣品后光的偏振態(tài)變化,進而分析樣品的性質(zhì)。橢偏法測量具有如下特點:1.能測量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2個數(shù)量級。2.是一種無損測量,不必特別制備樣品,也...

  • 2021-10-15

    Filmetrics3D光學(xué)輪廓儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,它是以白光干涉技術(shù)為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。Filmetrics3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,Profilm3D同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(V...

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