三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
本產(chǎn)品適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測(cè)量的地區(qū)差異繪圖。
三維形貌儀的使用優(yōu)點(diǎn)：
1、高分辨率：檢測(cè)每個(gè)細(xì)節(jié)并提供*的分辨搴。
2、*精度：提供高精度，生成精密的3D物體圖像。
3、真正便攜式設(shè)備：可裝入一只手提箱，攜帶到作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)或者轉(zhuǎn)移于工廠之間。
4、價(jià)格實(shí)惠：具有競(jìng)爭(zhēng)力，不需要連接CMM掃描臂或其他外部跟蹤裝置，且成本維護(hù)費(fèi)用極低。
5、手持式設(shè)備：設(shè)備的外形和重量分布*長(zhǎng)期使用，不會(huì)導(dǎo)致出現(xiàn)肌肉和骨骼酸痛。
6、自定位：不需要額外跟蹤或定位設(shè)備，創(chuàng)新的定位目標(biāo)點(diǎn)技術(shù)可以使用戶根據(jù)其需要以任何方式、角度移動(dòng)被測(cè)物體。
7、真正自動(dòng)多分辨率：新型批量三角化處理裝置可在需要時(shí)保持更高分辨率，同時(shí)在平面上保持更大三角形網(wǎng)格，從而生成更小的STL文件格式。
8、雙掃描模式：用戶可使用安裝在設(shè)備頂部的按鈕在正常和高分辨率掃描模式之間切換。正常分辨率對(duì)于大型部件和動(dòng)態(tài)掃描十分有用，而高分辨率于要求嚴(yán)格的復(fù)雜表面。
9、功能強(qiáng)大，使用界面友好：即使在狹小的空聞內(nèi)使用都應(yīng)用自如，可掃描任何尺寸、形狀及顏色的物體。只需極短的培訓(xùn)學(xué)習(xí)時(shí)間即可上手。
