OptoScan600是一款光學(xué)粗糙度測(cè)試儀，主要用于檢測(cè)晶圓缺陷、粗糙度、波紋度、翹曲度等數(shù)據(jù)。

光學(xué)粗糙度測(cè)試儀WaferMaster WM 300 不像傳統(tǒng)輪廓儀需要長(zhǎng)時(shí)間的垂直高度掃描加上水平拼接以得到3D的表面輪廓進(jìn)行耗時(shí)粗糙度計(jì)算。利用角分辨光散射技術(shù)測(cè)量晶圓表面梯度角計(jì)算的粗糙度，以每秒2000次高速掃描全晶圓表面上面粗糙度，為目前業(yè)界最快全晶圓粗糙度測(cè)量系統(tǒng)，可以依各種樣品形狀尺寸客制化量測(cè)探頭以及平臺(tái)解決方案。WM 300 可直接計(jì)算得到以微米為單位的粗糙度值，波紋度和輪廓值。