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      全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測(cè)及分選機(jī)

      簡(jiǎn)要描述:Dymek Orzew FC20使用無(wú)接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器,搭配標(biāo)準(zhǔn)真空吸附晶圓載臺(tái),Dymek Orzew FC20X使用無(wú)接觸式點(diǎn)光譜共焦對(duì)射傳感器,搭配符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三點(diǎn)支撐水平載臺(tái),兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運(yùn)動(dòng)模組和晶圓機(jī)械手,滿(mǎn)足亞微米級(jí)的形 貌測(cè)量需求,可選裝配電阻率測(cè)試模塊,滿(mǎn)足更多樣化的量測(cè)需求,適應(yīng)更多的晶圓制程。

      • 產(chǎn)品型號(hào):Orzew FC20/FC20X
      • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
      • 產(chǎn)品資料:
      • 更新時(shí)間:2024-11-09
      • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 5209

      詳細(xì)介紹

      全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測(cè)及分選機(jī)功能:

      多種測(cè)量能力

      形貌測(cè)量

      晶圓分選

      電阻率測(cè)量

      關(guān)鍵尺寸檢測(cè)

      自由選擇適配的測(cè)量方式

      Dymek Orzew FC20使用無(wú)接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器,搭配標(biāo)準(zhǔn)真空吸附晶圓載臺(tái)

      Dymek Orzew FC20X使用無(wú)接觸式點(diǎn)光譜共焦對(duì)射傳感器,搭配符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三點(diǎn)支撐水平載臺(tái)

      兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運(yùn)動(dòng)模組和晶圓機(jī)械手,滿(mǎn)足亞微米級(jí)的形貌測(cè)量需求

      可選裝配電阻率測(cè)試模塊,滿(mǎn)足更多樣化的量測(cè)需求,適應(yīng)更多的晶圓制程


      可實(shí)現(xiàn)的測(cè)量?jī)?nèi)容.png


      可測(cè)量的晶圓類(lèi)型.png



      厚度分布熱力圖和三維面型

      •具備4,6,8寸晶圓檢測(cè)能力(12寸可選)

      •全自動(dòng)輸出測(cè)量結(jié)果

      •自定義電阻率檢測(cè)輸出方式



      屏幕截圖 2024-02-19 144536.png




      選配.png








       

       

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