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      • Orzew FC20/FC20X全自動晶圓關鍵尺寸檢測及分選機

        Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺,Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業標準的三點支撐水平載臺,兩套系統均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手,滿足亞微米級的形 貌測量需求,可選裝配電阻率測試模塊,滿足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程。

        更新時間:2024-11-09
        型號:Orzew FC20/FC20X
        廠商性質:代理商
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