EVG 510-晶圓鍵合機（EVG鍵合機） 是用于研發或小批量生產的晶圓鍵合系統-與大批量生產設備*兼容。

EVG620 BA自動晶圓鍵合機 用于晶圓間對準的自動化鍵合對準機系統，用于研究和試生產。

EVG301-超聲波晶圓清洗機-晶圓鍵合機 基本功能：研發型單晶圓清洗系統（晶圓清洗機）。

EVG晶圓鍵合自動系統（晶圓鍵合機）可容納四個鍵合室，并具有各種鍵合室配置選項，適用于所有鍵合工藝和大300 mm的晶圓。

ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統 應用：高真空晶圓鍵合平臺促進“任何物上的任何東西”的共價鍵合

EVG520 IS-晶圓鍵合系統 是單腔或雙腔晶圓鍵合系統（晶圓鍵合機），用于小批量生產。